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  • 半导体气体传感器相关知识简介

    半导体传感器一般是指根据半导体材料的各种物理、化学和生物学特性而研发的传感器。半导体传感器所采用的半导体材料多数是硅以及Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族元素化合物。而且半导体传感器种类繁多,利用近百种物理效应和材料的特性,使其具有类似于人眼、耳、鼻、舌、皮肤等多种感觉功能,半导体气体传感器也是半导体传感器中的一种。

    2022-06-09 精讯畅通

  • 堪称黑科技的MEMS气体传感器了解一下

    MEMS气体传感器是利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板,所用气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中被检测气体存在时传感器电导率发生变化,该气体浓度越高,传感器的电导率就越高。在这种情况下,只需使用较为简单的电路,即可将电导率的变化转变为电流的变化,进而生成与该气体浓度相对应的输出信号。‍

    2022-06-07 精讯畅通

  • MEMS传感器行业发展趋势是怎样的

    MEMS传感器是一种在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,采用微电子技术和微机械加工技术而研发出来的物联网传感器。MEMS传感器种类繁多,主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。环境传感器又可细分为气体、温度和湿度传感器等。其中MEMS气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等。

    2022-06-06 精讯畅通

  • MEMS气体传感器的特点及分类

    如今,气体传感器在各个领域的应用越来越广泛,在物联网等技术应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。基于MEMS气体传感器的设计方案将成为未来气体传感器的主要发展方向之一。现在,仪器仪表中以单晶硅材料为衬底,非硅材料为敏感层的MEMS气体传感器最为常见。

    2022-06-02 精讯畅通